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OMD-675-1 PPB氧氣分析儀在半導體保護氣的應用

日期:2024-12-16 10:17
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摘要:半導體工藝需要采用純度達99.999%以上的氮氣、氬氣作為保護氣體。高純氣體為載氣和保護氣應用于彩電顯像管、大規模集成電路、液晶及半導體硅片等生產過程。因為氮基氣氛可以防止金屬表面在加熱過程中氧化。

OMD-675-1在線氧氣分析儀0-1ppm應用:

-石油化工、電子電力                       -化學反應分析

-空分高純氧氣、微量氧氣監測         -空氣分離和液化

-冶金、半導體、航天**行業         -核燃料處理和同位素分離

-制氫、制氮、凈化、干燥設備         -純氣體碳氫化合物流路監測

-初級液體給料和可燃液體保護氣層的檢測

-氣態單體過程分析:氯乙烯、丙烯、丁二烯、乙烯、橡膠、叔丁胺等

OMD-675-1在線氧氣分析儀0-1ppm參數:

精 度:<1%

量程范圍可選:

0-1ppm,0 - 10ppm, 0 - 100ppm, 0 - 1000ppm,  0 - 25%

量程自動或者手動調節

應 用:對惰性氣體,碳氫氣體,He,H2,CO2中的氧含量進行100ppb-1%分析 

報 警:2路繼電器報警輸出 

標 定:使用濃度大約為80%量程經過認證的標準氣體 

補 償:壓力和溫度 

接 口:1/4"接頭 

控 制:量程選擇開關,防水鍵,標定及系統功能 

顯 示:大屏幕液晶背光顯示;分辨率:0.01ppm;
流量:0.23-2.5 L/M,推薦流量:1 L/M 

線 性:>.995超過所有量程 

壓 力:進樣0-3Mpa;排空-大氣壓 

電 源:9-28VDC 

響應時間:90%滿量程為15秒 
樣氣系統:無,如圖可選H2S脫除系統 
靈 敏 度:<0.5%滿量程 
傳感器型號:

 (TO2-1x):微量ppm;(TO2-2x)微量ppm當CO2H2S>0.5%時,免維護

傳感器壽命:24-36個月,25℃ 
 

輸 出:4-20mA ,RS485MOUBUS
 

溫度范圍:5-45℃;TO2系列傳感器﹞;-20-45℃﹝PO2系列傳感器﹞ 
 

質 保 期:12個月,包括分析儀和傳感器 
樣氣取樣部分:-四通閥、針閥、流量計、快速吹掃旁路、不銹鋼卡套接頭

SOUTHLAND SENSING 在線氧氣分析儀OMD-150,OMD-507;OMD-401D;

OMD-501D;;OMD-525;OMD-625;OMD-677;OMD-675\EMD-482\EMD-485;OMD-150-1

便攜氧氣分析儀:OMD-480、OMD-480P;OMD-580;OMD-640

硫化氫分析儀;H2S-725;H2S-150;H2S-150-NG;H2S-780/在線

和便攜氧氣*小測量0-1ppm.

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